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币圈行情阅读 4 2023-06-25 09:37:27

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聚焦离子束显微镜FIB可实现纳米加工行业技术还在不断进步

　　聚焦离子束显微镜（FIB），是用于材料科学领域的分析仪器，是利用电透镜聚焦极小尺寸离子束轰击材料表面的技术，除了可以实现成像功能外，还可以实现材料的切割、蚀刻、沉积、剥离、离子注入等功能。

　　根据新思界产业研究中心发布的《2022-2026年聚焦离子束显微镜（FIB）行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示，进入21世纪，纳米科技已经成为前沿科学技术，随着制造业技术不断升级，纳米加工在制造业中的应用比例不断攀升。聚焦离子束显微镜是实现纳米加工的代表性技术，现阶段尚未有其他技术可以对其形成替代，地位重要性日益突出。在工业加工技术纳米化发展的背景下，聚焦离子束显微镜应用范围不断拓宽，其主要应用领域集中在集成电路、半导体、电子、新材料等产业中。

　　聚焦离子束显微镜主要由离子源、电透镜、二次粒子探测器、真空系统等构成。一般情况下，聚焦离子束显微镜的离子源主要采用金属镓（Ga），镓元素具有熔点低、蒸气压低、抗氧化性好的优点，此外也有采用氦（He）、氖（Ne）等元素。离子源产生离子束经强电流加速后，作用于材料表面，可实现原子剥离、薄膜沉积、材料蚀刻等，以完成材料加工。

　　现阶段，聚焦离子束显微镜的商用机型主要包括单束FIB、双束FIB两大类。单束FIB是仅拥有聚焦离子束技术的显微镜，双束FIB是指同时拥有聚焦离子束、扫描电子技术的显微镜，即聚焦离子束扫描电子显微镜（FIB-SEM）。FIB-SEM是将聚焦离子束显微镜与扫描电子显微镜（SEM）两者相结合的产物，将二者的优势互补，具有分辨率高、超微细加工能力强的优点。

　　20世纪70年代，聚焦离子束显微镜进入应用阶段，此前较长一段时间内一直处于研究阶段。发展至今，全球范围内聚焦离子束显微镜生产商主要有美国赛默飞世尔（Thermo Fisher）、德国卡尔•蔡司（Carl Zeiss AG）、德国Raith、捷克泰思肯（Tescan）、日本日立（Hitachi）等，其中，赛默飞世尔、卡尔•蔡司是全球领先的聚焦离子束显微镜生产商。　

　新思界行业分析人士表示，我国在仪器仪表领域研究起步较晚，较多细分领域核心竞争力不足，市场主要被国外企业所占据，在聚焦离子束显微镜方面，我国企业高端生产力较弱。为满足超微细加工需求，我国市场对聚焦离子束显微镜的性能要求不断提升，聚焦离子束显微镜研发及生产技术还在不断升级。由此来看，未来我国聚焦离子束显微镜行业发展面临较大的技术挑战。